株式会社ルミネックス

MAKER取扱メーカー

Luxcel Corporation
Luxcel Corporation

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取扱製品

軟X線フィルターsoft X-ray filters

Luxel 社は1973年以来、EUVや軟X線用のバンドパスフィルターとして使われる超薄フォイルを製作するメーカーです。またローレンスリバモア国立研究所と共同で各社X線用材料を開発しています。スタンダード製品とともにカスタムメイドも引き受けます。スタンダード仕様フォイルは、耐久性にあるメッシュか有機フィルムでサポートされフレームに付けられます。CFやコンフラットフレームも可です。

軟X線フィルター
アプリケーション
  • 宇宙天文学
  • X線レーザーターゲット
  • X線スペクトロスコピー
  • X線リソグラフィー
スタンダードフィルターラインアップ
COMPOSITION THICKNESS MAX. VISIBLE TRANSMITTANCE
Aluminum:1% Silicon 1500Å 5×10-8
Indium:1% Titanium 1600Å 5×10-7
Al:Si / Carbon Overcoat 1500Å / 270Å 5×10-8
Tin: 3% Germainum 1600Å 5×10-7
Al:Si / Titanium Overcoat 1500Å / 270Å 5×10-8
Carbon 1200Å 5×10-2
Lexan (polycarbonate) 1300Å, or to specs transparent
Boron 1200Å 5×10-1
Silicon 1200Å 5×10-1
Polyimide 1100Å, or to specs transparent
Titanium 2000Å 5×10-5
Palladium 1500Å 5×10-6
Zirconium 1500Å 5×10-6

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