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超高反射率ミラー

Ultra High Reflectance Mirrors

イオンビームスパッタリングを用いて、反射率:99.998%以上の超高反射率ミラーの製作しています。また、Finesse >100,000の高精度エタロンや超低反射率のARコートなども可能で、ハイレベルなご要望にお応えできるメーカーです。イオンビームスパッタリングによるハイコーティング


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コーティング技術について


超高反射率ミラー

Ultra High Reflectance Mirrors

Coastline opticsは精密光学部品のフルサービスのカスタムメーカーで、<1 Å rmsの超平滑(Ultra-Smooth)での表面仕上げに特化しています。基板整形、ラップ仕上げ、研磨、検査と計測、オプティカルコンタクト/接着、精密洗浄の他、IBS薄膜蒸着も含めた総合的なサービスを提供しています。様々なお客様の光学的な要求に対して、最初から最後まで整った設備と熟練したスタッフによる『ワンストップ』対応をしております。

研究開発(R&D)から製造/生産部門まで、様々な産業においてCoastlineの製品とサービスが利用されています。厳しい要求にも高品質と期日通りの納入で対応することで、半導体・防衛・航空宇宙・宇宙・通信・医療の産業分野や主要大学などからも信頼され続けています。


Coastline Opticsでは、すぐにお届けができる様々な両平面及び平凹基板を用意しています。

Ready to Ship' Optics Now Available!

基板材質にはフューズドシリカ・ULE・Zerodur・シリコン・サファイア・シリコンカーバイド・BK7があり、これらの高精度な基板は多様なプロジェクトに使われています。各基板の片面(side 1)は1Årms以下の面粗さと1/10λP-Vの面精度、10-5以下のスクラッチ−ディグとなっています。
こうした面仕上がりによって、基板による散乱と吸収とを最小限に抑えます。これらの基板と低散乱・低吸収・低ロスのIBSコーティングとを組合せれば、更なる性能向上をお約束します。

通常の在庫基板に加えて、多種の余剰在庫があり、その中にはシリコン・サファイア・シリコンカーバイドなどのオプティクスもございます。詳しくはお問い合わせ下さい。


カスタムオプティクス(Custom Optics)
シリコンカーバイド、シリコン、サファイア材(Silicon Carbide, Silicon, & Sapphire)

Custom Optics

Coastline Opticsの研磨過程では、上記の特殊な材料でもサブオングストローム(rms)レベルでの面仕上げで研磨できます。更に、1/50λと同等以上の面精度も可能です。

軽量で寸法安定性のあるシリコンカーバイド、高い引張強度と傷耐久性のサファイア、あるいは半導体特性を持つシリコンなど、いずれの材料においてもご提供いたします。こうした材料による長年の作業経験により、世界で最高の材料サプライヤー達と強いパートナーシップを築いており、最高の材料としっかりしたスーパーポリッシュ技術とを組合せることで、最高品質のオプティクスをご提供いたします。


IBS薄膜コーティング

IBS Thin Film Coatings

低散乱・低吸収・低損失という点で、Coastline Opticsのイオンビームスパッターコート(IBS coating)は非常に優れています。コート対象材料における豊富な品揃えがあり、あらゆる光学コーティングをお客様へ提供する独自の能力を持っています。これらの高密度および耐久性のあるコーティングは様々な要求に適した設計を可能にします。

高反射(HR)から反射防止(AR)、偏光及び無偏光ビームスプリッターなどといったものでも、お客様のご希望に応じたコーティング設計を行っています。

特定のアプリケーションに対する独自の解決策として、シリコンやシリコンカーバイド堆積クラッドもご提供しております。


検査と計測サービス

Test & Metrology Services

Coastline Opticsの計測部門では、お手持ちの光学テストフラットの準拠を保つために必要な測定や証明書発行のサービスをご提供しております。高精度の光学テストフラットには2年ごとに再証明が求められます。測定可能な最大直径は12インチで、1/10λ P-V以上の面精度を証明します。全ての証明書はNIST(アメリカ国立標準技術研究所)に基づいており、ISO9001に準拠します。

また、数年使用していることにより、一般的に傷・へこみ・擦れといった劣化の兆候がテストフラットに表れます。それらの劣化にもCoastlineは対応しております。研磨部門にて、そうしたテストフラットを新品同様の状態に戻すことも可能です。


設備

Equipment


品質システム

Quality System



超高反射率ミラー

Ultra High Reflectance Mirrors

紫外域から中赤外域までの高品質なオプティクスを提供しています。イオンビームスパッタリングによるコーティングで波長:400nmにおいて反射率:99.997%以上を実現しています。その他にもARコーティング(反射率:0.01%以下)や二波長高反射率ミラーなどの製作も可能です。


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超高反射率ミラー

High Reflection Mirrors (99.998% or higher)

Reseach Electro Optics,Inc (REO)は、イオンビームスパッタリング(ion beam sputtered)技術により超高反射率ミラー(99.998% or higher)を製造しています。*なおREO社製品は大量ご注文のみ承っております。

超高反射率ミラー 詳細へ


基盤 UVグレード合成石英/スーパー研磨
表面粗さ <0.8Å(S1面)、<5Å(S2面)
スクラッチ/ディグ 0-0(S1面)、<10-5(S2面)
イオンビームスパッタリングコート
高反射コート 99.998% R
低損失ARコート <0.05% 反射ロス
レーザー損傷しきい値 20J/cm2 for 3ns at 1064nm



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