軟X線フィルター
soft X-ray filters
Luxel 社は1973年以来、EUVや軟X線用のバンドパスフィルターとして使われる超薄フォイルを製作するメーカーです。またローレンスリバモア国立研究所と共同で各社X線用材料を開発しています。スタンダード製品とともにカスタムメイドも引き受けます。スタンダード仕様フォイルは、耐久性にあるメッシュか有機フィルムでサポートされフレームに付けられます。CFやコンフラットフレームも可です。
アプリケーション
| COMPOSITION | THICKNESS | MAX. VISIBLE TRANSMITTANCE |
|---|---|---|
| Aluminum:1% Silicon | 1500Å | 5 x 10-8 |
| Indium:1% Titanium | 1600Å | 5 x 10-7 |
| Al:Si / Carbon Overcoat | 1500Å / 270Å | 5 x 10-8 |
| Tin: 3% Germainum | 1600Å | 5 x 10-7 |
| Al:Si / Titanium Overcoat | 1500Å / 270Å | 5 x 10-8 |
| Carbon | 1200Å | 5 x 10-2 |
| Lexan (polycarbonate) | 1300Å, or to specs | transparent |
| Boron | 1200Å | 5 x 10-1 |
| Silicon | 1200Å | 5 x 10-1 |
| Polyimide | 1100Å, or to specs | transparent |
| Titanium | 2000Å | 5 x 10-5 |
| Palladium | 1500Å | 5 x 10-6 |
| Zirconium | 1500Å | 5 x 10-6 |
スタンダードフィルターラインアップ
 Aluminum |
 Aluminum / Carbon |
 Aluminum / Titanium |
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 Carbon |
 Lexan |
 Polyimide |
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 Boron |
 Silicon |
 Tin |
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 Indium |
 Palladium |
 Zirconium | ||
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