ディフォーマブルミラー
MEMS Based Deformable Mirrors



IrisAO社のディフォーマブルミラーは強固な単結晶シリコンミラーセグメントを採用することで大きな温度変化や100W/cm2以上の出力においてもフラットなミラーを保ちます。また、精密リニアオープンループによるピストン-チップ-チルト位置決め(piston-tip-tilt positioning)は高性能な補償光学が可能です。
仕様
ミラータイプ:Segmented, piston/tip/tilt
ストローク: 5 or 8μm
フィルファクター: >98%(6μmギャップ)
光学面エラー: <30nm RMS
コーティング: プロテクトアルミ、ゴールド、
誘電体多層膜
ミラーポジション: セグメントミラーそれぞれをpiston/tip/tiltする方式
もしくは全体のミラーをゼルニケモード(21モード)にする方式
37セグメントと163セグメントがあります
校正済みドライブエレクトロニクス、ケーブル、DMインターフェースボード付
ソフトウエアー: C, METLAB 及び Open-Loop Controller 付
Deformable Mirrors data sheet(PDF 815KB)
HV driver data sheet(PDF 253KB)
アダプティブ オプティクス エンジンシステム(補正光学システム)
AO (Adaptive Optics) Engine systems


Iris AO社の補正光学システムは正確にファクトリーキャリブレーションされたディフォーマブルミラーと低ノイズの駆動電子機器で構成されています。Piston-Tip-Tilt値もしくはゼルニケ係数により直感的で正確な位置決めが可能なのはもちろん、USBインターフェイスなどにより複雑な設定を行うことなくミラー整形が可能です。
AO Development Systems Catalog1(PDF 1,291KB)
AO Development Systems Catalog2(PDF 1,257KB)