スペクトロメーター(波長計)
Spectrometer
Carl Zeiss社の波長センサー MMSシリーズはグレーティングとフォトダイオードアレイをガラスブロック又はチタンブロックに固定したスペクトルメータです。小型で振動や温度変化に対して安定でアライメントがくずれません。計測器などに組み込むのに最適です。
アプリケーションは膜厚計測、プラズマモニター、色度計、水質検査、食品検査などです。

| MMS-1 | MMS UV/VIS | |
|---|---|---|
| 波長域 | 310-1100nm | 190-720nm |
| 分解能 | 10nm | 7nm |
| ピクセル数 | 256 | 256 |
その他以下のラインアップもございます。

| PGS 2.0-256 | |
|---|---|
| 波長域 | 1340-2000nm |
| 分解能 | ΔλFWHM ? 8 nm |
| ピクセル数 | 256 |
Multi-Channel-Spectrometer MCS
Multi-Channel-Spectrometer MCS CCD


| MCS | MCS CCD | |
|---|---|---|
| 波長域 | 190nm-1100nm | 220nm-980nm |
| 分解能 | 2.5-3nm | 3-4nm |
| ピクセル数 | 512 or 1024 | 532 x 64 or 1044 x 64 |

| MCS FLEX CCD | MCS FLEX PDA | |
|---|---|---|
| 波長域 | 190nm-980nm | 190nm-1015nm |
| 分解能 |
Δλ>> 3 nm (UV Version) Δλ>> 3 - 4 nm (UV-NIR Version) |
Δλ>> 3 nm (UV Version) Δλ>> 3 - 4 nm (UV-NIR Version) |
ソフトウェア、エレクトロニクスはtec5社より供給されております。
http://www.tec5.com/engl/products/spectr_sensors/