Carl Zeiss社の波長センサー MMSシリーズはグレーティングとフォトダイオードアレイをガラスブロック又はチタンブロックに固定したスペクトルメータです。小型で振動や温度変化に対して安定でアライメントがくずれません。計測器などに組み込むのに最適です。

アプリケーションは膜厚計測、プラズマモニター、色度計、水質検査、食品検査などです。

MMS -Monolithic Miniature Spectrometer

	MMS 1	MMS UV-VIS	MMS UV
波長域	310-1100nm	190-720nm	195-395nm
分解能	Δ λ FWHM ≈10nm	Δ λ FWHM ≈7nm	Δ λ FWHM ≈3nm
ピクセル数	256	256	256

その他以下のラインアップもございます。

CGS - Compact Grating Spectrometer

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

	CGS UV-NIR CCD	CGS UV-NIR PDA
波長域	190-1000nm	190-935nm
分解能 (FWHM) with 50μm slit	UV-VIS: < 2.2 nm NIR: < 2.5 nm	UV-VIS: < 2.0 nm NIR: < 2.0 nm
ピクセル数	2048	1024

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

PGS - Plane Grating Spectrometer

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

	PGS 1.7 - 256	PGS 1.7 - 512	PGS 2.0 - 256	PGS 2.2 - 256
波長域	960nm-1690nm	960nm-1690nm	1340nm-2000nm	1000nm-2150nm
分解能	Δ λ FWHM ≈8m	Δ λ FWHM ≈6nm	Δ λ FWHM ≈8nm	Δ λ FWHM ≈16nm
ピクセル数	256	512	256	256

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

MCS FLEX - Multi Channel Spectrometer

　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

	MCS FLEX PDA	MCS FLEX CCD
波長域	190nm-1015nm	190nm-980nm
分解能	Δ λ FWHM ≈3-4nm	Δ λ FWHM ≈3-4nm

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

MCS -Multi-Channel Spectrometer

　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

	MCS PDA	MCS CCD
波長域	190nm-1015nm	190nm-980nm
分解能	Δ λ FWHM ≈3nm (UV-version) Δ λ FWHM ≈3-4nm (UV-NIR version)	Δ λ FWHM ≈3nm (UV-version) Δ λ FWHM ≈3-4nm (UV-NIR version)

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